1、0引言红外探测器在3~5■波长范围内具有较高的灵敏度和优异的可靠**,因而被广泛地应用于军事领域[1]。随着焦平面阵列的集成度越来越高,芯片关键尺寸减小,材料的表面状态成为影响红外探测器器件**能的关键因素。其中,钝化膜直接与芯片表面接触,因此钝化膜的质量直接决定了红外器件的**能。
2、钝化膜淀积在材料表面时会有应力作用于的光敏元上,导致-结的空间电荷区发生弯曲。如图1中曲线所示,在像元上施加反向偏置电压时,由于-结**能的劣化,在-结周围更容易产生漏电流,并且随着偏置电压的提高,漏电流逐渐增大,像元的电学**能变差。
3、由于应力造成-曲线的劣化,探测器器件中会出现输出噪声增大的现象。此外,较大的应力还会影响器件的长期可靠**[2因此,研究钝化膜的应力对于提升红外器件的**能具有重要的意义。[1][2,3]图1光电二极管的特征-曲线从应力的产生原理上分析,应力包括本征。在-基钢中,作为奥氏体形成元素,具有稳定奥氏体的作用。
4、的标准电极电位(-1.18)远小于的标准电极电位(-0.44),且在水溶液中形成的氧化物结构疏松,不具有保护**,因此会降低-基奥氏体钢的耐蚀**能[1-5]。但是研究发现,-二元奥氏体钢在30%溶液中表现出很好的钝化**能,其表面形成钝化膜的耐蚀**能与--、--及---奥氏体钢的相近[6-7],在-基钢中加入或均不能提高钢在溶液中的耐蚀**。由此说明-基钢在碱**溶液中所形成的钝化膜中的化合物结构发生了变化,该化合物对钝化膜的耐蚀**能产生了影响。
5、本文利用阳极极化曲线、俄歇电子能谱()以及射线光电子谱()测试技术研究了-25和-24-4-5钢分别在1/24溶液和30%。--系合金中含有大量降低耐腐蚀**能的元素[1-2],其在工程应用过程中的表面耐蚀**能远不能满足使用要求。电化学阳极钝化技术可以大幅度提高--系合金在1/24溶液中的耐均匀腐蚀和局部腐蚀的能力[3-4],在合金钝化膜溶解与再钝化过程中,通过延长钝化处理时间可降低钝化膜中低耐蚀**元素氧化物的含量,从而提高合金的耐蚀**。
1、研究发现[5],钝化膜晶体结构内存在各种高浓度的点缺陷,如氧空缺和金属离子空缺等,钝化膜大多具有半导体**质,其离子阻挡层作用与钝化膜的电子特**密切相关,因此,金属材料的耐蚀**不仅与钝化膜的成分结构有关,更依赖于钝化膜的电子特**,如平带电位、施主浓度、受主浓度等,通过测量-曲线可以获得钝化膜的电子特**。国内外学者[6-9]相继开展了不锈钢在各种介质中钝化膜的电子特**研究,定量地解释了不锈钢钝化膜具有优异耐蚀**的原因。
2、而有关-基。